ICS 31.200 L 55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 261132010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 Micro-electromechanical system technology- General rules for the assessment of micro-geometrical parameters 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 26113—2010 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。 本标准主要起草单位：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。 本标准主要起草人：丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥。 GB/T26113—2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 1范围 本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3505产品几何技术规范（GPS）表面结构轮法术语、定义及表面结构参数 GB/T18779.2产品几何量技术规范（GPS）工件与测量设备的测量检验第2部分：测量设备 校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南 GB/T26111微机电系统（MEMS)技术术语 3术语和定义 GB/T3505和GB/T26111中给出的术语和定义以及下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 微几何要素micro-geometricalfeature 构成微结构几何特征最基本的点、线、面。 3.2 微几何量 micro-geometrical parameter MEMS构件的几何特征参数。 3.3 尺寸特征featureof size 由一定大小的线性尺寸或角度尺寸确定几何形状。 3. 4 表面结构 surface structure 几何表面的重复性或偶然性偏差，这些偏差形成该表面的三维形貌 3.5 表面（结构）参数 surface(structure)parameter 表示表面微观几何特性的参数。 3.6 形状特征 characteristic of form 单一实际要素的形状所允许的变动全量。 1