说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
书 书 书犐犆犛 29 . 045 犎 80 中华人民共和国国家标准 犌犅 / 犜 6621 — 2009 代替 GB / T6621 — 1995 硅片表面平整度测试方法 犜犲狊狋犻狀犵犿犲狋犺狅犱狊犳狅狉狊狌狉犳犪犮犲犳犾犪狋狀犲狊狊狅犳狊犻犾犻犮狅狀狊犾犻犮犲狊 2009 10 30 发布 2010 06 01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 书 书 书前 言 本标准代替 GB / T6621 — 1995 《 硅抛光片表面平整度测试方法 》。 本标准与 GB / T6621 — 1995 相比 , 主要变动如下 : ——— 将名称修改为 “ 硅片表面平整度测试方法 ”; ——— 去掉了目前较少采用的干涉法 , 只保留了目前常用的电容法 ; ——— 增加 “ 引用标准 ”; ——— 对 “ 方法提要 ”、“ 仪器装置 ”、“ 测量程序 ”、“ 计算 ” 进行了全面修改 ; ——— 经实验重新确定了精密度 ; ——— 在第一章增加本标准适用的试样范围 ; ——— 在 “ 试样 ” 一章中说明对所测试样的要求 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口 。 本标准主要起草单位 : 上海合晶硅材料有限公司 。 本标准主要起草人 : 徐新华 、 严世权 、 王珍 。 本标准所替代标准的历次版本发布情况为 : ——— GB / T6621 — 1986 、 GB / T6621 — 1995 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 6621 — 2009
GB-T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
文档预览
中文文档
8 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共8页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2025-02-21 14:29:15
上传分享
举报
下载
原文档
(702.5 KB)
分享
友情链接
GA-T 1390.5-2017 信息安全技术 网络安全等级保护基本要求 第5部门 工业控制系统安全扩展要求.pdf
YD-T 3813-2020 基础电信企业数据分类分级方法.pdf
GB-T 8239-2014 普通混凝土小型砌块.pdf
T-SIA 031.3—2021 系统安全工程 网络弹性构建指南 第3部分 网络弹性构建过程.pdf
数据安全事件管理办法.pdf
GB-T 28435-2012 地面数字电视广播发射机技术要求和测量方法.pdf
GB-T 24108-2009 岩土工程仪器可靠性技术要求.pdf
T-CNPHARS 0001—2023 个体化用药遗传咨询指南.pdf
信通院 2020人工智能医疗产业发展蓝皮书.pdf
T-NKFA 010—2022 家具企业生产质量管理规范.pdf
XF 979-2012 D类干粉灭火剂.pdf
GB-T 22561-2023 真空热处理.pdf
GB-T 43681-2024 生态系统评估 区域生态系统调查方法.pdf
互联网用户公众账号信息服务管理规定.pdf
T-CIECCPA 010—2020 节能诊断数据结构化处理规范.pdf
GB-T 33008.1-2016 工业自动化和控制系统网络安全 可编程序控制器 PLC 第1部分:系统要求.pdf
GB-T 39137-2020 难熔金属单晶晶向测定方法.pdf
T-ACEF 109—2023 公民绿色低碳行为温室气体减排量化指南 行:混合动力汽车出行.pdf
GB-T 37973-2019 信息安全技术 大数据安全管理指南 .pdf
AQ 1098-2014 露天煤矿安全设施设计编制导则.pdf
交流群
-->
1
/
3
8
评价文档
赞助2元 点击下载(702.5 KB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。