ICS_31. 020 L 97 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 16879—1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment 1997-06-20发布 1998-03-01实施国家技术监督局发布 GB/T16879—1997 目次前言范围 2 引用标准 3 精密度和准确度的定义、表示方式、测量方法和要求说明事项：

GB-T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

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