说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS _31. 200 L 95 中华人民共和国国家标准 GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范 Specification for registration marks for photomasks 1996-09-09发布 1997-05-01实施 国家技术监督局 发布 GB/T16524-1996 前 言 本标准等效采用SEMI标准《微型构图》部分中的SEMIP6-88《光掩模对准标记规范》(Specifica- tion for registration marks for photomasks). 本标准与已经转化为我国标准的SEMIP1一92《硬面光掩模基板》(GB/T15871--1995)、SEMI P2-86《硬面光掩模用铬薄膜》(GB/T15870—1995)、SEMIP4-92《圆形石英玻璃光掩模基板规范》 (GB/T16523—1996)、SEMIP3—90《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子抗蚀剂规范》(GB/T16527- 1996),以及将要转化为我国标准的SEMIP21一92《掩模曝光系统精确度表示准则》、SEMIP22—93《光 掩模缺陷分类和尺寸定义的指南》、SEMIP19一92《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》等项 标准形成一个微型构图标准系列。 制定本标准将使我国半导体集成电路光掩模对准标记的设计和制造规范化,有利于我国半导体工 业生产和科研,便于与国际半导体集成电路制造业接轨,亦有利于国际间工业技术交流。 本标准的格式和结构按国标GB/T1.1一1993的规定编制。 本标准由中华人民共和国电子工业部提出。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草单位:中国科学院微电子中心。 本标准主要起草人:陈宝钦、陈森锦、陈福山、冯朝斌。 建筑321- 标准查询下载网 www..jz321.net
GB-T 16524-1996 光掩模对准标记规范
文档预览
中文文档
6 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共6页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2024-06-01 05:04:26
上传分享
举报
下载
原文档
(8.8 MB)
分享
友情链接
GB-T 18826-2016 工业用1,1,1,2-四氟乙烷 HFC-134a.pdf
T-WCGH 002—2022 武夷岩茶冲泡品鉴茶具.pdf
信通院 应用程序接口-API数据安全研究报告-2020年.pdf
GB-T 20647.3-2006 社区服务指南 第3部分:文化、教育、体育服务.pdf
DB11-T 1537-2018 风机节能监测 北京市.pdf
DB-T 81—2020 活动断层探察 古地震槽探.pdf
GB-T 41532-2022 聚氯乙烯结构泡沫板材.pdf
GB-T 4842-2017 氩.pdf
GB-T 27804-2011 氟化钙.pdf
奇安信 2022中国白帽人才能力与发展状况调研报告.pdf
GB-T 41009-2021 法庭科学 DNA数据库选用的基因座及其数据结构.pdf
信通院 大数据平台安全研究报告.pdf
GB-T 43493.3-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分:缺陷的光致发光检测方法.pdf
腾讯安全 等保2.0体系互联网合规实践白皮书 2020.pdf
GB-T 21369-2008 火力发电企业能源计量器具配备和管理要求.pdf
GB-T 41973-2022 工业通风机 平衡品质与振动等级规范.pdf
DB5119-T 17-2020 巴州虫白蜡生产技术规程 巴中市.pdf
GM-T 0023-2014 IPSec VPN网关产品规范.pdf
T-HBCIA 001—2022 邢台酸枣仁.pdf
SC-T 4001-2021 渔具基本术语.pdf
交流群
-->
1
/
3
6
评价文档
赞助2元 点击下载(8.8 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。