ICS 25. 220. 20 A 29 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T18682—2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件 Specifications of physical vapour deposition TiN films 2002-03-10发布 2002-08-01实施 中华人民共和国 发布 国家质量监督检验检疫总局 GB/T18682—2002 目 次 前言 范围 1 规范性引用文件 2 3术语和定义 4技术要求 5性能及试验方法 附录A（规范性附录） 镀膜前零件表面质量控制技术要求 附录B（规范性附录） 物理气相沉积技术用钛靶· 附录C（规范性附录） 物理气相沉积TiN设备的真空技术要求 附录D（规范性附录） 膜厚度测量方法 12 附录E（规范性附录） 物理气相沉积TiN薄膜防腐能力试验方法 15 附录F（规范性附录） 物理气相沉积TiN薄膜摩擦学性能试验方法 17 GB/T18682—2002 前言 本标准的附录A、附录B、附录 C、附录D、附录E、附录F为规范性附录。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归口。 本标准负责起草单位：武汉材料保护研究所。 本标准参加起草单位：钢铁研究总院、中科院力学研究所、中国航科集团公司五一一研究所、成都工 本标准主要起草人：凌国伟、李健、倪瀚、黄济群、曲学基、纪晓春、秦襄培。
GB-T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
GB-T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
文档预览
中文文档
28 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
温馨提示：本文档共28页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
本文档由 思安 于 2023-02-09 17:30:34上传分享
友情链接
- GB-T 34120-2017 电化学储能系统储能变流器技术规范.pdf
- GB-T 36896.3-2018 轻型有缆遥控水下机器人 第3部分：导管螺旋桨推进器.pdf
- GB/T 32925-2016 信息安全技术 政府联网计算机终端安全管理基本要求.pdf
- GB-T 16606.3-2018 快递封装用品 第3部分：包装袋.pdf
- GB-T 32351-2015 电力信息安全水平评价指标.pdf
- DB11-T 1412-2017 区域规划节能评估技术规范 北京市.pdf
- DB1301-T432-2022 电梯安全 信息化系统 元数据 石家庄市.pdf
- T-ZNZ 189—2023 水产品中生物胺的测定 液相色谱-串联质谱法.pdf
- GB-T 31013-2014 声学 管道、阀门和法兰的隔声.pdf
- GB-T 25731-2010 粮油机械 长管蒸发器.pdf
- T-CTSS 3—2019 茶艺职业技能竞赛技术规程.pdf
- GB-T 14555-2015 船用导航雷达接口及安装要求.pdf
- GB-T 41785-2022 磁光电混合存储系统通用规范.pdf
- SL-T 534-2023 生态清洁小流域建设技术规范.pdf
- GB-T 22080-2016 信息安全技术 信息安全管理体系要求.pdf
- 易观分析 AIGC产业研究报告2023——三维生成篇pdf.pdf
- T-CIECCPA 030—2023 零碳工厂创建与评价通则.pdf
- T-ACEF 034—2022 城镇供水管网数字化技术指南.pdf
- T-ZZB 1845—2020 散热器恒温控制阀.pdf
- GB-T 19668.4-2017 信息技术服务监理第4部分信息安全监理规范.pdf