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ICS 31-030 L90 GD 中华人民共和国国家标准 GB/T11446.6—2013 代替GB/T11446.6—1997 电子级水中二氧化硅的 分光光度测试方法 Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer 2013-12-31发布 2014-08-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 中华 人民共 #和国 国家标准 电子级水中二氧化硅的 分光光度测试方法 GB/T11446.6—2013 * 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址:www.gb168.cn 服务热线:400-168-0010 010-68522006 2014年4月第一版 * 书号:155066:1-48678 版权专有 侵权必究 GB/T11446.6—2013 前言 GB/T11446预计结构如下: GB/T11446.1电子级水; GB/T 11446.2 (待定); GB/T11446.3 电子级水测试方法通则; -GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法; -GB/T 11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法: -GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法; -GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法; GB/T 11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法; GB/T 11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法; GB/T11446.10电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。 本部分为GB/T11446的第6部分。 本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本部分代替GB/T11446.6一1997《电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法》。 本部分与GB/T11446.6—1997相比,主要有下列变化: 将"9干扰因素”修改为“5干扰因素”(见第5章); “工作曲线的绘制”中,根据待测水样中二氧化硅含量,明确将工作曲线分为两组(见9.1.1和 9.1.2); 增加了“对水样独立进行两次测定,取其平均值”(见9.3.3)。 本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。 本部分由中国电子技术标准化研究所归口。 本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技 术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。 本部分主要起草人:王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为: GB/T11446.6—1989.GB/T11446.6—1997。 I GB/T11446.6—2013 电子级水中二氧化硅的 分光光度测试方法 1范围 本部分适用于电子级水中二氧化硅的测定,其中检出限为1ug/L。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T11446.1一2013电子级水 GB/T11446.3—2013电子级水测试方法通则 3术语和定义 GB/T11446.3一2013界定的术语和定义适用于本文件。 4方法原理 [Si(MO,O,)]·HO,用还原剂1-氨基-2-萘酚-4-磺酸还原黄色的硅钼杂多酸为硅钼蓝,然后用分光光 度计测定硅钼蓝的吸光度,计算出水中可溶性硅量。水中非溶性硅可用氢氟酸溶解,进行全硅的测定。 5干扰因素 5.1磷酸盐与砷酸盐等在测定条件下生成相应的蓝色杂多酸,可用草酸、酒石酸等羟基酸消除砷、磷的 干扰。 5.2测定水中全硅时,用氢氟酸将非可溶性硅转化为可溶性硅,但氢氟酸有负干扰,加饱和硼酸予以 消除。 5.3实验室空气的净化与否对分析结果影响较大,应在100级净化室内进行测量。 5.4水样应尽快分析,放置时间越长,污染的可能性越大。 6试剂 6.1空白用水 GB/T11446.1一2013规定的EW-I级电子级水。 1
GB-T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
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