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ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T36401—2018/ISO13424:2013 表面化学分析X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告 Surface chemical analysisX-ray photoelectron spectroscopy- Reporting of results of thin-film analysis (ISO13424:2013,IDT) 2018-06-07发布 2019-05-01实施国家市场监督管理总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T36401—2018/ISO13424:2013 目次前言引言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 缩略语 5 XPS薄膜分析综述 5.1 引言 5.2 常规XPS 5.3 变角XPS 5.4 峰形分析 5.5 可变光子能量XPS 5.6 溅射深度剖析XPS 6样品处理仪器和操作条件 7.1 仪器校准 7.2 操作条件 8 XPS方法、实验条件、分析参数和分析结果的报告 8.1 XPS薄膜分析方法 8.2 实验条件 8.3 分析参数 8.4 汇总表示例 8.5 分析结果附录A（资料性附录）常规XPS 附录B（资料性附录）变角XPS 15 附录C（资料性附录）峰形分析附录D（资料性附录) 溅射深度剖析XPS 30 参考文献 32

GB-T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告

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