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ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32996—2016/ISO/TS25138:2010 表面化学分析 辉光放电发射光谱法 分析金属氧化物膜 Surface chemical analysis-Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry (ISO/TS25138:2010,IDT) 2016-10-13发布 2017-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32996-2016/ISO/TS251382010 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 原理 4 仪器 5 调节辉光放电谱仪系统设置 6 样品处理 7 建立工作曲线 8 测试样品的分析 9 分析结果的表示· 10 精密度 11 实验报告 13 附录A(规范性附录) 工作曲线常数的计算和深度剖析的定量评价 附录B(资料性附录) 测定元素的建议谱线 22 附录C(资料性附录) 氧化物密度和相关量p。的实例 附录D(资料性附录) 金属氧化物膜实验室间试验报告 25 参考文献 30
GB-T 32996-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
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