GB-T 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南

ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30702—2014/IS018118:2004 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南 Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy-Guide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitative analysis of homogeneous materials (ISO18118:2004,IDT) 2014-06-09发布 2014-12-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T30702—2014/ISO18118:2004 目次前言川引言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 符号和缩略语 5 概述 6 测量条件 6.1 概述 6.2 激发源 6.3 能量分辨率 6.4 能量步长和扫描速率 6.5 信号强度 6.6 增益和时间常数（适用于模拟信号探测系统的AES仪器） 6.7 调制获取微分谱 7 数据分析步骤 8 强度能量响应函数 9 用相对灵敏度因子测定化学组成 9.1 化学组成的计算 9.2计算组成的不确定度附录A（规范性附录）相对灵敏度因子公式 A.1 符号和缩略语 A.2 原理 A.3 相对灵敏度因子附录B（资料性附录）分析结果的不确定度信息 15 B.1 符号和缩略语 B.2 引言· 15 B.3 基体效应· B.4 样品组分分布. 16 B,5 表面形貌· 16 B.6 辐照损伤 16 B.7 离子溅射影响 16 B.8 表面污染参考文献 I

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