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ICS13.040.35 CCSC70 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.13—2022/ISO14644-13:2017 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度 要求的表面清洁 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemicalclassifications (ISO14644-13:2017,IDT) 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 25915.13—2022/ISO14644-13:2017 目 次 前言 引言 范围 规范性引用文件 术语和定义 一般方法 对象描述 洁净度要求 初始污染水平的测定 清洁方法的选择 10 材料相容性检套 11 清洁验证 12 测量方法 13 记录 12 附录A(资料性) 清洁要素 13 附录B(资料性) 清洁方法 14 附录C(资料性) 材料与清洁剂的相容性 20 附录D(资料性) 洁净度测量 22 参考文献 26
GB-T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
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