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ICS13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.12—2021/IS014644-12:2018 洁净室及相关受控环境 第12部分: 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 Cleanrooms and associated controlled environmentsPart 12:Specifications for monitoringof aircleanliness bynanoscaleparticleconcentration (ISO14644-12:2018,IDT) 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.12—2021/ISO14644-12:2018 目 次 前言 引言 1 范围 2 规范性引用文件 3术语和定义 4 监测· 5检测报告 附录A(资料性) 以凝结粒子计数器进行监测的参照方法 附录B(资料性) 粒子计数效率和分割粒径 参考文献 10
GB-T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
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