ICS 13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013 洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 10:Classification of surface cleanliness by chemical concentration （ISO14644-10:2013,IDT） 2021-08-20发布 2022-03-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013 目次前言引言 IV 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4 分级 5化学污染的表面洁净度检测/测量、监测及符合性证明附录A（资料性）表面化学物各种浓度的换算附录B（资料性）影响测试与结果的因素 12 附录C（资料性）洁净度评定的基本要素 13 附录D（资料性）按化学物浓度测试表面洁净度的方法 14 附录E（资料性）测试报告 23 参考文献 24

GB-T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

文档预览

中文文档 30 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分

赞助2.5元下载(无需注册)

温馨提示：本文档共30页，可预览 3 页，如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档

GB-T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级第 1 页

GB-T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级第 2 页

GB-T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级第 3 页

下载文档到电脑，方便使用

赞助2.5元下载

本文档由人生无常于 2024-03-30 13:01:32上传分享

下载原文档(5.2 MB)

友情链接

GB-T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

GB-T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级