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ICS13.040.35 CCSC70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.1—2021 代替GB/T25915.1—2010 洁净室及相关受控环境 第1部分: 按粒子浓度划分空气洁净度等级 Cleanroomsand associated controlled environments-Part 1:Classification of air cleanlinessbyparticleconcentration (ISO14644-1:2015,MOD) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.1—2021 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3术语和定义 4 分级 符合性的证明 附录A(规范性) 按粒子浓度划分空气洁净度的基准方法 附录B(资料性) 等级划分计算实例 11 附录C(资料性) 悬浮大粒子的计数和测径 附录D(资料性) 序贯采样法· 21 附录E(资料性) 非整数洁净度等级和粒径阈值的说明 27 附录F(资料性) 检测仪器 29 参考文献 30
GB-T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
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