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ICS 31. 120 L 47 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 18680—2002 液晶显示器用氧化钢锡透明导电玻璃 The transparent conductive glass with indium-tin oxide films used in liquid crystal display 2002-03-10发布 2002-08-01实施 中华人民共和国 发布 国家质量监督检验检疫总局 GB/T186802002 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 玻璃基片规格 5 SiO,阻挡层规格 6 ITO导电膜层规格 7 膜层缺陷 8 抽样 检验和试验方法 9 10 标志· 11 包装、运输、贮存 GB/T186802002 前 言 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归口。 本标准负责起草单位:广州有色金属研究院 本标准参加起草单位:深圳莱宝真空技术有限公司、深圳南玻集团股份有限公司。 本标准主要起草人:袁镇海、戴达煌、赵小伟、王志洁、付志强、黄绍江、侯惠君、林松盛 GB/T186802002 液晶显示器用氧化钢锡透明导电玻璃 1范围 本标准规定了液晶显示器(LCD)用氧化钢锡(Indium-TinOxide,ITO)透明导电玻璃的技术要求、 标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于液晶显示器用氧化锡透明导电玻璃。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的 修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是 否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。 GB/T2828逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查) (eqv ISO 2819) GB/T14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T14264确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 微观波纹度Microcorrugation 在玻璃基片的浮法锡面(或抛光面)上,沿垂直于浮法拉伸方向扫描表面轮廓线,并设定截止波长为 度值。 I.4 . // I.. 1.水平线 L_1.s d='y $20 mm 图1玻璃基片的微观波纹度 4玻璃基片规格 4.1长度及宽度的允许偏差 对于长度及宽度的公称尺寸在470mm以内的玻璃基片,允许偏差均应为士0.3mm。 4.2厚度的允许偏差 厚度的允许偏差应符合表1要求。 GB/T 186802002 表1厚度的允许偏差 厚度/mm 允许偏差/mm 1.10 ±0.10 0.70 ±0.05 0.55 ±0.05 0.40 ±0.05 0.35 ±0. 05 4.3垂直度 玻璃基片的垂直度的公差等级a/L<0.1%(见图2,a为公差带,L为被测玻璃基片的相应边长)。 图 2 玻璃基片的垂直度 4.4弯曲度 厚度≥0.70mm的玻璃基片,弯曲度(h/L)≤0.10%(见图3); 厚度<0.70mm的玻璃基片,弯曲度(h/L)≤0.15%(见图3); 不允许S形弯曲。 L 图3 3玻璃基片的弯曲度 4.5微观波纹度(玻璃的浮法锡面) 微观表面波纹度的数值R,的最大值(见图1)应符合表2要求 表2玻璃基片的微观波纹度 厚度/mm 抛光玻璃 超级浮法玻璃 浮法玻璃 1.10 0.05μm/20mm 0.10μm/20mm 0.15um/20mm 0.70 ≤0.08μm/20mm ≤0.13μm/20mm ≤0.20μm/20mm 0.55 ≤0.15μm/20mm ≤0.25μm/20mm 0.40 ≤0.20 μm/20mm ≤0.30μm/20mm 0.35 ≤0.30μm/20mm 4.6倒边 4.6.1C型倒边 宽度0.05mm≤W≤0.40mm(见图4)。 W 45° 图4C型倒边 2

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