ICS 23.040.60 J 78 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 6071—2003 代替GB/T6071.1~6071.3—1985 超高真空法兰 Ultra-high vacuum flange 2004-05-01实施 2003-10-29发布 中华人民共和国 发布 国家质量监督检验检疫总局 GB/T6071—2003 前言 本标准代替GB/T60/1.1-1985《超高真空法兰结构型式》、GB/T6071.2—1985《超高真空法兰 尺寸》、GB/T6071.3—1985《超高真空法兰用铜密封垫》。 本标准与GB/T6071.1~6071.3—1985相比主要变化如下: 将Di的负公差调整为正公差; 对部分法兰的基本尺寸进行了调整,将外径D36改为D34、D56改为D54、D62改为D60、D71 改为D70、D89改为D86。 增加了DN(25)、DN250规格; 一 一刀口处向内倾斜5°刀口总深度由原1.5mm调整为1.2mm; 法兰的烘烤温度由原450℃改为不大于300℃; 法兰公称通径DN直通到法兰刀口底面; 调整了铜密封垫的环带尺寸; 为方便使用将图和对应的表排在一起。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(CSBTS/TC18)提出并归口。 本标准负责起草单位:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司、沈阳真空技术研究所。 本标准参加起草单位:杭州大和热磁电子有限公司。 本标准主要起草人:张廷阁、钱幼林、史雪松、张明达、李稻田。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: -GB/T6071.1—1985 GB/T 6071.2—1985 GB/T 6071.3—1985 I GB/T 6071—2003 超高真空法兰 1范围 本标准规定了内焊型、松套型、盲型超高真空法兰(以下简称法兰)和铜密封垫的型式、尺寸及技术 要求。 本标准适用于超高真空系统中公称通径为16mm~250mm用铜垫密封的不锈钢法兰及铜密 封垫。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有 的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。 GB/T1800(所有部分)极限与配合基础 GB/T5231一2001加工铜及铜合金化学成分和产品形状 GB/T1220—1992不锈钢棒 3型式与尺寸 3. 1 法兰与接管的连接型式应符合图1的规定,尺寸应符合表1的规定。 3.2内焊型法兰的型式应符合图2的规定,尺寸应符合表2的规定 3.3松套型法兰的型式应符合图3的规定,尺寸应符合表3的规定; 松套型法兰肩环(以下简称肩环)的型式应符合图4的规定,尺寸应符合表4的规定。 3.4盲型法兰的型式应符合图5的规定,尺寸应符合表5的规定。 3.5铜密封垫的型式应符合图6的规定,尺寸应符合表6的规定 4技术要求 4.1 4.2 公称通径小于25mm的法兰或肩环,可与接管制成一体。 4.3 接管与法兰或肩环的内焊缝为连续氩弧焊焊接 4.4 法兰烘烤温度不大于300℃。反复烘烤时,密封处漏气率小于1.0×10-Pa·L/S 4.5 螺栓、螺母及垫圈与法兰装配时一般应在螺栓、螺母之间加二硫化钼润滑剂。 4. 6 法兰的密封刀口不充许有碰伤、划伤、斑痕及其他影响真空密封性能的缺陷。 4.7 法兰推荐使用GB/T1220—1992规定的0Cr18Ni9或1Cr18Ni9Ti不锈钢制造。 4.8 铜密封垫推荐使用GB/T5231—2001中规定的TU,或TU2铜板制造。 4.9未注明公差尺寸按GB/T1800中的IT12加工。 5标记示例 公称通径为63mm的内焊型法兰,其标记为: CFn63 GB/T 6071—2003 公称通径为(25)mm的内焊型法兰,其标记为: CFn(25) GB/T6071—2003 CFs63 公称通径为63mm的松套型法兰,其标记为: GB/T6071—2003 公称通径为63mm的肩环,其标记为: CFj63 GB/T6071—2003 1 GB/T 6071—2003 公称通径为63mm的盲型法兰,其标记为: CFm63 GB/T6071—2003 公称通径为63mm的铜密封垫圈,其标记为: CFd63 GB/T6071—2003 内焊型 松型 图1 法兰与接管的连接型式 表 1 法兰与接管的连接尺寸 单位为毫米 法兰 接管 螺栓 公称通径 DN D D DN 2Sd n dXL 16* 34 27. 0 16.0 2. 0 6 M4X20 20 54 41,3 20. 0 4. 0 6 M6X30 (25)b 54 43. 0 25.0 3.0 6 M6X30 25 60 47. 0 25.0 4.0 6 M6X30 32 70 54.0 32.0 4.0 6 M6X35 40** 70 58.7 35.0 3.0 6 M6X35 50 86 72.4 50.0 3. 0 8 M8X45 63a 114 92.2 63.0 3.0 8 M8X50 80 130 110.0 80.0 5. 0 16 M8X50 100a 152 130.3 100.0 4. 0 16 M8X55 160*c 202 181.0 150.0 4. 0 20 M8X55 200a 253 231.8 200.0 5. 5 24 M8X60 250 305 284.0 250.0 6. 5 32 M8X70 优先采用。 b括号内规格为限制采用规格 cDN40的实际公称通径为35mm,DN160的实际公称通径为150mm。 d为推荐值。 SAG 2 GB/T 6071—2003 6. 43/ 1:1 其余 B-B OEN R 1. 5 0. 5 × 15° 70° . 2 5°1 / 0. 8 R0. 1 0. 5 + 0. 11 /1.6 1. 2 1.0.-- 中? 0. 5 × 45° 图 2 内焊型法兰型式 表 2 内焊型法兰尺寸 单位为毫米 公称 Di D: 通径 D Do D2 H Hi 基本 基本 公差 公差 DN 尺寸 尺寸 +0.033 +0.043 16a 34 27. 0 21.4 18.0 18.0 7. 3 3. 0 4.3 0 0 0.20 +0.039 +0.052 20 54 41.3 32.9 27.6 24.0 10.5 5. 5 0 +0.039 +0.052 (25)b 54 43.0 35.0 29.5 28.0 10.5 5.5 0 0 6 +0.039 +0.052 25 60 47.0 39.0 34.0 29.0 10.0 5.0 6.6 0.40 +0.039 +0.062 32 70 54.0 46.0 41.0 35.0 12.0 6.0 +0.039 +0.062 402 70 58.7 48.3 42.0 38.0 13.0 7. 5 +0.046 +0.074 50 86 72.4 61.6 55.6 53.0 16.0 8.0 8 +0.054 +0.074 63a 114 92.2 82.4 77.0 66.0 17.5 8.0 +0.054 +0.087 80 130 110.0 99.0 93.0 85.0 18.0 8.0 16 +0.063 +0.087 100 152 120.6 115.0 104.0 20.0 9.0 0.25 8.4 130.3 0 +0.063 +0.100 181.0 171.4 166.0 160. 202 154.0 22.0 9. 5 20 +0.072 +0.115 200a 253 231.8 222.1 217.0 205.5 24.5 12.0 24 0 +0.081 +0.130 250 305 284.0 273. 267.0 256.5 26.0 13.0 32 a优先采用, b括号内规格为限制采用规格。 cDN40的实际公称通径为35mmDN160的实际公称通径为150mm。

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